Propiedades morfolg̤icas y estructurales de recubrimientos nitruro de titanio aluminio producidos por magnetron sputtering tro̕do

Se crecieron recubrimientos de TixAl1-xN empleando la tčnica de magnetron sputtering tro̕do, variando el voltaje de polarizacin̤ entre -40 V y -150V. Por medio de espectroscopa̕ de energa̕ dispersiva, difraccin̤ de rayos x y microscopa̕ de fuerza atm̤ica, se analiz ̤la influencia del voltaje de pol...

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Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Devia D M, Restrepo Parra E, Vľez Restrepo J M, Universidad EAFIT
Format:	Buch
Sprache:	English
Schlagworte:	Aluminio EspectroscopƯ̕a Interacciones atm̤icas Materiales de recubrimiento Recubrimientos no metl̀icos Aluminum Spectroscopy Atomic interactions Coating materials Nonmetallic coatings TiAlN; Voltaje de polarizacin̤; Sputtering; Porcentaje atm̤ico; XRD TiAlN; Bias voltage; Sputtering; Atomic percentage; XRD.
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