A MEMS Resonant Sensor to Measure Fluid Density and Viscosity under Flexural and Torsional Vibrating Modes

En esta investigacin̤ se proponen mťodos para calcular la densidad y la viscosidad de fluidos usando un microcantilv̌er con base en el principio de resonancia. Se analizaron sus mecanismos de medicin̤ y se dedujeron las ecuaciones ter̤icas para calcular la densidad y la viscosidad. Se completaron s...

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Bibliographic Details

Other Authors:	Zhao Libo, Hu Yingjie, Wang Tongdong, Ding Jianjun, Liu Xixiang, Zhao Yulong, Jiang Zhuangde, MDPI
Format:	Book
Language:	English
Subjects:	Instrumentos de medicin̤ Tecnologa̕ de la instrumentacin̤ Measuring instruments Instrumentation technology Instrumentacin̤ industrial Sensores Sensores de viscosidad Sensor resonante MEMS Microcantilv̌er Densidad Exactitud Modo de vibracin̤ Flexural Torsional Industrial instrumentation Sensors Viscosity sensors MEMS resonant sensor Microcantilever Density Accuracy Vibrating mode Torsional
Online Access:	A MEMS Resonant Sensor to Measure Fluid Density and Viscosity under Flexural and Torsional Vibrating Modes
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