Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology
En esta investigacin̤ se ofrece una solucin̤ confiable para resolver el problema de no linealidad de un resonador CMOS-MEMS (semiconductor complementario de x̤ido metl̀ico-sistema microelectromecǹico) y, adems̀, se demuestra un potencial notable para construir un sensor de temperatura CMOS-MEMS par...
Сохранить в:
Другие авторы: | , |
---|---|
Формат: | |
Язык: | English |
Предметы: | |
Online-ссылка: | Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|