Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...
Zapisane w:
Kolejni autorzy: | , , , , , , , |
---|---|
Format: | Książka |
Język: | English |
Hasła przedmiotowe: | |
Dostęp online: | Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |
Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|