Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications

Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...

Deskribapen osoa

Xehetasun bibliografikoak

Beste egile batzuk:	Frantlovi&#263; Milo<U+009a>, Joki&#263; Ivana, Lazi&#263; ‌arko, Vukeli&#263; Branko, Obradov Marko, Vasiljevi&#263;-Radovi&#263; Dana, Stankovi&#263; Sr&#273;an, University of Ni¿Ł
Formatua:	Liburua
Hizkuntza:	English
Gaiak:	Instrumentos de medicin̤ Tecnologa̕ de la instrumentacin̤ Measuring instruments Instrumentation technology Instrumentacin̤ industrial Sensores Sensores de presin̤ Sensores MEMS Sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio Medicin̤ de temperatura Correccin̤ de sensores Industrial instrumentation Sensors Pressure sensors MEMS sensor Silicon microelectromechanical (MEMS) piezoresistive pressure sensors Temperature measurement Sensor correction
Sarrera elektronikoa:	Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
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